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净化工作台的滤板和紫外杀菌灯都有标定的使用年限,应按期更换。
2、巡视锁具可否采用经公安部医用钢质门检验合格的型锁,一起查验锁具可否具备防钻功能(这种锁具防盗锁芯(Cylinder)处配有防钻钢板)。
不同的工艺制程对洁净度的要求也各不相同,例如光刻要求在1级的微环境下,而化学机械研磨则只要求1000级的环境即可。
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