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18101556626附录L 清洗机构的技术要求 本附录规定了从事公共场所集中空调通风系统清洗工作机构应达到的技术要求。
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当前45nm的大规模集成电路已投入生产,要求洁净室的空气洁净度控制在ISO1级或 ISO2级,微粒粒径控制在0.03微米。
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