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18101556626许多微电子和光刻洁净室成功地采用被动气压控制,只有在大门全部打开的情况下,入口处的风量维持在每分钟50到100英尺。
例,洁净室要求正压为20Pa(表中四行),洁净室体积为100m3,洁净室是有外窗、密闭性较好的洁净室(表中二列),那么此洁净室维持正压所需的送风量V=换气次数2.5*100m3=250m3(不包括工艺排风)为什么有时不能达到理想正压?1)、新风补充量不足:重新计算新风需求量2)、泄漏量过大:找出泄漏原因,寻出解决方案3)、排风量太大:主要是工艺排风量超标,重新计算4)、空调回风量太大:重新调节风量简单计算法的应用实例—在洁净室建造中为投资方节约能源合理的正压值对洁净室各项指标的达标及降低运行成本是非常重要的。
洁净室中的每个成员都应当充分了解个人卫生习惯对洁净室洁净程度的影响有多大,并且遵循正确的行为,才能防止洁净室环境中人为微粒污染物的产生。
GMP无尘车间洁净度不合格的原因及改造措施gmpwccjjjd我国医药行业的《药品生产质量管理规范》(GMP)自从1992年颁布以来,已经逐步为药品生产企业所认识,接受并实施。
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