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181015566266、采用初、高过滤器2台,风速:>25mm/s7、外喷涂内不锈钢/全不锈钢8、门:钢质门/不锈钢门/移门/快卷门9、不锈钢喷嘴:随着产品规格变化而变化1、控制系统:微电脑控制系统,触摸屏控制,人体感应,电子互锁。
③各室的循环送风、回风、排风管路上都需要安装密闭阀,在非工作期间各室内空调机组和排风机关闭时,密闭阀关闭,只有独立新风系统送风,以防止正压送风倒入回风或排风系统,难以保证原有的正压梯度。
而集成电路制造所需的无尘车间之洁净度优于1000级。
如果去除测量边界后的净尺寸不等于15的整数倍,则允许校正测量点之间的距离。
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