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18101556626有毒的硅烷或其混合物气瓶存区至少三面是敞开的，气瓶与周围构筑物或围栏之间的距离应大于3M，储存区设置的雨篷应不低于3.5M；（7）电子净化车间的装饰材料不得采用释放对电子产品有影响物质的材料；（8）电子光学洁净室车间允许设空气吹淋室，这是和一般生物洁净室不同的。
其次，了解选型要点：1、送风口布置需要综合考虑室内气流组织、噪声、建筑装修、安装维修等方面要求。
所以各国对现代无尘车间的建筑，无不从设计、运行管理、研究开发方面考虑各种手段、措施来减少能耗，而且净化设备的制造厂商也千方百计的开拓新的设备，以满足技术发展的需求。
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