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而洁净度要求越高,温湿度控制精度越高则洁净室投资和运行成本越高,因此在大环境洁净度或温湿度要求相对较低的情况下,将一些关键的工艺设备布置在较高洁净度或温湿度控制区域内是集成电路制造洁净厂房的设计趋势。
从目前来看,净化工程的投资机会都来源于哪几方面呢?就目前的情况来看,净化工程的投资机会都来源于以下几方面:一,水污染的治理是净化工程的。
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