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18101556626集成电路芯片的成品率与芯片的缺陷密度有关,而芯片的缺陷密度与空气中粒子个数有关。
国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》(GB50472)共分15章和4个附录。
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L4.2 管理清洗机构应制定严格的管理制度,主要包括现场员、现场工作人员的人身、人员防护、设备、环境保护、污染物处理制度等。
洁净技术便是根据产品生产对洁净生产环境中污染物的控制要求、控制方法以及控制设施等日益严格的要求不断发展而来的。
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