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18101556626当前45nm的大规模集成电路已投入生产,要求洁净室的空气洁净度控制在ISO1级或 ISO2级,微粒粒径控制在0.03微米。
影响洁净室性能参数的主要因素有:① 空调净化送回风系统和洁净室的气流组织;②冷、热、湿源的供应和空气处理系统;③自动控制系统的灵敏度和精度。
如有,说明过滤器容尘量大,导致阻力变大,应及时更换;3、如果更换后设备风速不能提高,说明过滤器的阻力也变大,应视情况更换;4、更换过滤器时,要注意所选型号是否正确,并确定设备的气流方向,不要装错;5、更换完毕后,要及时确认车架是否有渗漏,确认无问题后方可投入使用。
2)接通电源,控制(control)盒电源指示灯亮,按 ;开 ;按纽, ;开 ;指示灯亮,医用钢质门体能自动打开至设定的限位处自动停止。
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