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在FED-STD-2里面,净化工程被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。
我们要将室内空气中≥0.5μm的微粒数过滤,将空气菌过滤,过滤容易产生化学反映的一些不必要的空气。
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