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这些技术在洁净室设计中都是不可缺少的,它们密切配合,围绕着产品生产的需要,相互协调、统筹安排。
4、气流组织 洁净室的气流组织形式是保证洁净度级别的关键因素。
半导体Fabs倾向选择铝，基于它的耐久性，然而，它不是便宜的物质。
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