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18101556626为此,电子工业洁净厂房一般配备下列设施,如净化空调系统、专用净化设备、噪声控制设备、防微振设备、防静电设备、防电磁干扰设备、电气、照明、高纯物质(高纯水、高纯气、高纯化学品)供应设备、报警系统、节能设施以及通信设施等。
L4 管理体系要求 L4.1 清洗质量管理 清洗机构应设立专门质量管理部门，建立健全空调风管系统清洗全过程的质量管理规章制度和清洗工程档案、资料保管制度，制定出本机构具体的清洗操作规程、清洗质量保证措施、自检方法等。
以微电子产品为代表的电子产品,其生产过程中广泛应用了高精密制造设备,这使电子工业洁净厂房的形式、构造和整体建造成本都发生了大的变化。
空调系统影响着这些指标, 从对正压、换气次数、悬浮粒子的控制来满足洁净度。
五、消防设施配置由于洁净厂房的建筑造价及工艺设备都比较昂贵，发生火灾带来的直接和间接的经济损失都十分惨重，因此建立行之的消防保障体系是洁净室建造和运行解决的重要问题。
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