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18101556626(2)各技术人员抓紧熟悉图纸,检查施工图纸及各组成部分间有无矛盾和错误,如净化工艺平面图与其相关的结构图在尺寸、标高、说明等方面是否一致等。
一般操作台或生产设备等表面的气流分流点,应设于洁净室空间与隔墙板间距2/3之处,如此可使作业人员工作时,气流可从制程区内部流向作业区,而将微尘带走;若分流点配置在制程区前方,将成为不当的气流分流,此时大部份的气流将流至制程区之后,作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面,工作台因而将受到污染,良率也势必降低。
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